In der dritten Phase, der Prozeßplanung, soll sichergestellt werden, daß die geforderten Teile- und Komponentenmerkmale innerhalb des Herstellungsprozesses realisierbar sind. Die herausgearbeiteten Merkmale der Phase 2 führen nicht zu einem besseren Produkt, wenn der Herstellungsprozeß den Anforderungen nicht entspricht.

In der Matrix werden die kritischen Merkmale aus den Zeilen mit den Fertigungs- und Montageschritten aus den Spalten in Beziehung gesetzt und bezüglich ihres Einflusses gewichtet. Als Ergebnis erhält man die kritischen Prozeßparameter. "In diesem Zusammenhang kommt auch die Prozeß-FMEA zum Einsatz, deren Aufgabe es ist, Prozeßfehler zu analysieren und diesbezügliche Maßnahmen abzuleiten." (LREF15-312)