Nachdem die potentiellen Fehler und Fehlerquellen aufgelistet sind ist die genauere Betrachtung dieser Fehler von gößter Bedeutung, da für die weitere Vorgehensweise festgestellt werden muß, inwieweit der Fehler sich auf das Gesamtsystem bzw. den Prozeß auswirkt und welche Folgen er haben könnte.

Diese Fehleranalyse kann in einigen Fällen, besonders bei komplexen Systemen oder Prozessen, eine nicht unerhebliche Zeit in Anspruch nehmen. Weiterhin ist sie Grundlage der nachfolgenden Risikobewertung.